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            AL 76 Compact

            典型應用:

            等離子清洗中的全能型產品,可滿足大多數應用。適合大批量生產和實驗室使用。

            ? 改善Die Bonding
            ? 改善Wire Bonding
            ? 改善錫球焊接
            ? 改善倒裝底部填充(FC Underfill)
            ? 改善塑封(Molding)/封膠

            • 商品介紹
            • 規格參數
            • 技術規格:

              ?等離子源:2.45Ghz微波等離子源,1200W
              ?腔體    :鋁.長400mm,寬400mm,深490mm,76L
              ?外觀尺寸:長1050mm,寬800mm,高2020mm(含信號燈塔)
              ?處理氣體:3路氣體+數字MKS流量控制器
              ?真空腔門:鉸鏈門/抽屜式雙功能+觀察窗
              ?觀察窗  :UV與微波屏蔽保護
              ?GUI 10.4"觸摸屏,Window CE操作系統

              選項:
              ?進口干泵系統(含相關附件)
              ?
              信號燈塔-紅黃綠三色
              ?額外的處理氣體線路-最多至4路氣體
              ?旋轉臺-φ350mm,旋轉速度可調
              ?ECR機構
              ?包裝,運輸

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