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典型應用:
等離子清洗,適合于小體積產品,小批量生產和實驗室使用
? 改善Die Bonding? 改善Wire Bonding? 改善錫球焊接? 改善倒裝底部填充(FC Underfill)? 改善塑封(Molding)/封膠
技術規格:
?等離子源:2.45Ghz微波等離子源,600W?腔體 :鋁.長250mm,寬250mm,深290mm,18L?外觀尺寸:長530mm,寬600mm,高550mm?處理氣體:1路氣體+數字MKS流量控制器?真空腔門:鉸鏈門+觀察窗?觀察窗 UV與微波屏蔽保護?GUI 7"觸摸屏,Window CE操作系統
選項:?進口干泵系統(含相關附件)?信號燈塔-紅黃綠三色?額外的處理氣體線路-最多至4路氣體?旋轉臺-φ200mm,旋轉速度可調?ECR機構?包裝,運輸